클린룸의 개요
클린룸 이란 공기 중의 부유 입자가 규정된 입경에서 규정된 수치 이하로 청정도가 관리되며 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 가스, 물 등에 대해서도 공급 유틸리티에 규정된
청정도가 유지되도록 하며 온도/습도/압력/기류/소음/진동 등의 환경조건 등에 대해서도 관리가 이루어지는 공간을 말합니다. 클린룸은 반도체 산업뿐만 아니라 디스플레이 등의
최첨단 기술 분야로부터, 전자산업, 광학기계, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있습니다.
클린룸의 4대원칙
청정도 등급
1963년 미국연방 규격 209B(Federal Standard 209B)을 제정하였습니다. 이는 본격적인 공업용 클린룸 규격으로 청정도 이외, 압력, 기류속도, 온도, 습도, 조도에 대해서도
규정하고 있습니다. 이후 209D(1988년)와 209E(1992년)로 변경되었습니다. 다른 나라에서도 독자 규격을 제정하여 사용하고 있지만, 공업용 클린룸에서는 주로 미국 연방
규격이, 바이오 클린룸에서는 미국 항공우주국 규격(NASA-NHB5340-2)이 일반적으로 사용됩니다.
미국연방 규격
GSA(General Service Administration)의해 제정된 미국연방 규격은 209에서 시작해서 최신의 209E까지 개정되어 왔습니다. 1963년 12월 F.S209가 발표되었고, 1966년 8월에
209A, 1973년 4월에 209B, 1987년 10월에 209C, 1988년 6월에 209D, 1992년에 209E까지 발표되었습니다.
다음은 연방 규격에서 규정하는 Class Limit의 정의입니다. (NA: Not Application) Fed.Std.209E
| CLASS | 측정입경(㎛) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5 | |
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | NA |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | NA |
| 100 | NA | 750 | 300 | 100 | NA |
| 1,000 | NA | NA | NA | 1,000 | 7 |
| 10,000 | NA | NA | NA | 10,000 | 70 |
| 100,000 | NA | NA | NA | 100,000 | 700 |
클린룸 규격
| 국 명 | ISO | 미 국 | 한 국 | 영 국 | 일 본 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 규격 | ISO 14644 | FS-209D | FS-209E | KS | BS 5295 | JISB9920 |
| 연도 | 1999 | 1988 | 1992 | 1991 | 1989 | 1989 |
| 기준입자 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | 0.1 |
| 단위 | 10개/m2 | 개/ft3 | 개/m3 | 개/m3 | 개/m3 | 10개/m3 |
| CLASS | 1 | M1 | ||||
| 1 | ||||||
| 2 | M10 | C | ||||
| 2 | ||||||
| 3 | M1 | M100 | D | |||
| 1 | M1.5 | 3 | ||||
| 4 | M2 | M1,000 | E of F | |||
| 10 | M2.5 | 4 | ||||
| 5 | M3 | M10,000 | G of H | |||
| 100 | M3.5 | 5 | ||||
| 6 | M4 | M100,000 | 1 | |||
| 1,000 | M4.5 | 6 | ||||
| 7 | M5 | M1,000,000 | J | |||
| 10,000 | M5.5 | 7 | ||||
| 8 | M6 | M10,000,000 | K | |||
| 100,000 | M6.5 | 8 | ||||
| 9 | M7 | L | ||||
| 9 | ||||||
NASA의 BCR 규격 (NHB 5340.2)
| CLASS | 입자 | 미생물입자 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 입경(㎛) | 누적입자수(개/ft3) | 누적입자수(개/ℓ) | 부유량(개/ft3) | 부유량(개/ℓ) | 침감량(개/m3주일) | |
| 100 | ≥0.5 | ≤100 | ≤3.5 | 0.1 | 0.0035 | 12,900 |
| 1,000 | ≥0.5 | ≤10,000 | ≤350 | 0.5 | 0.0176 | 64,600 |
| ≥0.5 | ≤65 | ≤2.3 | ||||
| 10,000 | ≥0.5 | ≤100,000 | ≤3,500 | 5 | 0.0884 | 323,000 |
| ≥0.5 | ≤700 | ≤2.5 | ||||
| CLASS | 압력(mmAq) | 온도(℃) | 습도(%) | 기류환기횟수 | 조도(Lux) |
|---|---|---|---|---|---|
| 100 | 1.3이상 | 지정상 | 45 | 층류방식 0.45M/s±0.1/s 난류방식 ≥20회 시간 |
1,080 1,620 |
| 1,000 | |||||
| 10,000 |
기류방향별 분류
| 항목 | 수직 충류형 | 수평 충류형 | 난류형 |
|---|---|---|---|
| CLASS | 1~100 | 100 | 1,000~10,000 |
| 설치 비용 | 상 | 중 | 하 |
| 유지 비용 | 상 | 중 | 하 |
| 환기 횟수 | 400회 이상/HR | 30~150회/HR | 30~60회/HR |
| 적용 | Clean Room 전역 Clean Booth Clean Banch |
Clean Banch | Clean Room |
기류가 천정 면에서 바닥으로 흐르도록 하는 방식으로 청정도 CLASS 100이하의 고청정 공간을 얻을 수 있습니다. 취출 풍속은 0.25~0.5m/sec입니다.
-
- 공기의 저항 및 배기 저항이 적다.
- 단위 시간당 청정공기 공급량이 크다.
- 단시간에 높은 청정도를 달성 할 수 있다.
-
- 구조가 복잡하다.
- 기계적 진동에 약하다.
기류가 한쪽 벽면에서 마주보는 벽면으로 흐르도록 하는 방식으로 기류 상류 측의 작업의 영향으로 기류 하류 측에서는 청정도가 저하됩니다.
상류 측에서는 Class 100이하, 하류 측에서는 상류 측의 작업내용에 따라 Class 1,000정도의 청정도를 얻습니다. 취출 풍속은 0.45m/sec 이상입니다.
-
- 특정부위 물품보관 용이하다.
-
- 송풍구에서 멀어질수록 입자가 누적되어 떨어진다.
일반 공조의 취출구에 HEPA Filter를 취부한 방식으로 청정한 취출공기에 의해 실내오염원을 희석하여 청정도를 상승시킵니다. HEPA Filter Box 또는 BFU(Blower Filter Unit)를 사용하여 공조기(AHU)로부터 정화된 공기를 취출하여 청정유지에 필요한 풍량을 순환시킵니다. 청정도는 CLASS 1,000~100,000 정도를 얻을 수 있습니다. 환기회수는 20~80회/hr 정도입니다.
-
- 특정부위 부분별 청정도 향상에 좋다.
-
- 공정 와류 현상이 발생할 우려가 있다.
Air Shower
클린룸, 클린부스처럼 청정작업실에 입실 시 외부로부터 오염물질이 유입되는 것을 방 하기
위하여 인체에 부착된 분진 또는 미생물류를 상부와 측면에 설치된 노즐을 통해 청정공기가
고속으로 분사되어 세정 제거하는 Clean Up 장비입니다.
| Type | 용량 | Out Size | In Size |
|---|---|---|---|
| A-Type | 1~2인용 | 1,500x1,000x2,200H | 800x1,000x1,950H |
| B-Type | 2~3인용 | 1,500x1,500x2,200H | 800x1,500x1,950H |
| C-Type | 3~4인용 | 1,500x2,000x2,200H | 800x2,000x1,950H |
| D-Type | 5~6인용 | 1,500x3,000x2,200H | 800x3,000x1,950H |
* 이형사이즈 주문제작 가능
- 분체 도장 : 외부 분체, 내부 노즐판 및 바닥은 STS로 제작
- All STS : STS 304 Hairline으로 제작하며, Polishing으로도 제작 가능함
- Door : 수동문 & 자동문
- 인터락 : 이엠락 적용가능
- 조명 : LED & UV 살균등
- 바닥판 제거 가능
-
A-Type
-
B-Type
-
C-Type
-
D-Type
* 3Way,4Way 및 L형 제작 가능
Pass Box & Showering Type
패스박스는 청정도가 서로 다른 구역간에 제품을 이동하는 곳에 설치하여 오염을 최소화 시켜주는 장비로서, 일반형, Showering Type, 대물용으로 구분되며 이동하는 제품의 사이즈와 조건에 따라 설치 가능합니다.
| 구분 | 규격 |
|---|---|
| In Size | 600x600x600H |
| Out Size | 850x600x750H |
| 외부 | 분체도장 |
| 내부 | STS304 |
* 이형사이즈 주문제작 가능, 기본 사양에는 조명 및 부저 제외
| 구분 | 규격 |
|---|---|
| In Size | 600x600x600H |
| Out Size | 950x700x1,650H |
| 외부 | 분체도장 |
| 내부 | STS304 |
| Hepa Filter | 0.3㎛ 99.97% (DOP TEST) |
| Pre Filter | 부직포 |
| LED & 부저 | 포함 |
| Power | 3Φ*220V*60Hz / 3Φ*380V*60Hz |
* 이형사이즈 주문제작 가능
- 분체 도장 : 외부 분체, 내부 STS로 제작
- All STS: STS 304 Hairline으로 제작하며, Polishing으로도 제작 가능함
- Door : 수동문 & 자동문
- 조명 : LED & UV 살균등
- 인터폰 & 부저
B.F.U (Blower Filter Unit)
B.F.U는 천정 설치형으로 Filter 와 Fan이 내장된 Clean Unit이며, Duct 연결 Type 및 자체 순환 Type이 있습니다.
| 구분 | 규격 | |
|---|---|---|
| Size | 750*750/1,212*550H | |
| 풍량(CMM) | 정풍량 -18CMM / 다풍량 -28CMM | |
| FILTER | Size | 610*610*150T |
| 구분 | HEPA(ULPA) FILTER | |
| 효율 | 0.3㎛ 99.97% (DOP TEST) | |
| 재질 | 분체도장 / STS304 | |
| DAMPER | 재질 | 분체도장 / STS304 |
| 규격 | Φ200, Φ250, Φ300 | |
| FAN | Moter | SIROCCO FAN |
| power consumption | 0.2Kw | |
| 보온 | Glass Wool / 아티론 15T | |
* 이형사이즈 주문제작 가능
Hepa Filter Box
클린룸 천장부의 Duct와 연결하여 공조 시스테의 기류를 순환하는 장비이며,난류형 클린룸을 구성하는 기본적인 Clean화 장치 입니다.
| 구분 | 규격 | |
|---|---|---|
| Size | 750*750*500H | |
| 풍량(CMM) | 정풍랑 -18CMM / 다풍량 -28CMM | |
| FILTER | Size | 610*610*150T |
| 구분 | HEPA(ULPA) FILTER | |
| 효율 | 0.3㎛ 99.97% (DOP TEST) | |
| 재질 | 분체도장 / STS304 | |
| DAMPER | 재질 | 분체도장 / STS304 |
| 규격 | Φ200, Φ250, Φ300 | |
| 보온 | Class Wool / 아티론 15T | |
* 이형사이즈 주문제작 가능
